我国首条光刻用石英玻璃基板成套生产线建成

　　近日，中国建材总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造技术，在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。

       该生产线的建立，是中国建材总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及示范”课题的成果之一。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件，市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而，受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约，我国石英玻璃基板长期依赖进口。

　　作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所，中国建材总院石英院依托浙江衢州高新园区的化工资源，形成了循环经济产业链，建立了高性能石英玻璃研发基地，并成立中建材衢州金格兰石英有限公司。经科研人员不懈努力，形成一套符合我国行业现状与发展趋势的独有工艺路线，不但解决了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀性难题，同时实现了原材料绿色制造。石英院还引入多刀切割、安全快速磨抛工艺，创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原材料制造到产品加工，石英院形成专利20余项，行业标准、国军标及国家标准10余项，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，不仅逐步替代进口，实现了集成电路等用高性能石英玻璃关键材料及制品的国产化，而且出口欧洲、日本等国。